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产品详情

装片冷却一体机

装片冷却一体机
产品详情

石墨舟装片冷却一体机
产品说明

本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套,装去硅片,配制过滤器,空气通过过滤器后,阻尼层均压,使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区,从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度。

主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位;
② 采用SUS304不锈钢制造,整机结构坚固可靠;
③ 采用GK系列空气过滤器;
④ 净化风机噪音小于50dB;
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。

⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;

冷却功能

1. 能准确的使石墨舟承载装片定位。

2. 经过滤的洁净空气有送风机分散吹向石墨舟,保证石墨舟快速冷却。

技术要求:

1. 整个冷却房采用不锈钢制作,保证整个设备坚固可靠。

2. 进入吹风的空气需经中效过滤网过滤。

3. 吹风机两台,左右各一台,风量1000m3/h。

4. 顶部装有吸风罩和手动调节阀,可调节风量和风速。

5. 为达到节电效果,需安装自控装置,当小车进入冷却房后自动启动,冷却到规定时间或小车离开冷却房后都能自动停止。

6. 为防止被小车撞击后移动,减震地脚选用能安装膨胀螺钉的地脚。

7. 净化风机噪音小于50dB;保证每个部位都能吹到。

8. 光电感应自动吹风,微电脑控制。


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