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产品详情

装片房

装片房
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石墨舟装片房

产品说明

本设备是用于太阳能行业与PECVD承载车配套,装去硅片,配制过滤器,空气通过过滤器后,阻尼层均压,使洁净的空气气流垂直单向送入装片工作区,从而保证了工作区达到工艺要求的洁净度。

主要特点
① 能够确保与PECVD石墨舟承载车准确定位;
② 采用SUS304不锈钢制造,整机结构坚固可靠;
③ 采用GK系列空气过滤器;
④ 净化风机噪音小于50dB;
⑤ 保证工作区域内所达到工艺的洁净度。
⑥ PECVD承载车在里面可倾斜15度或旋转180度;

设备名称

PECVD装片房

总功率

220V   800W

时间显示

数显

控制方式

光电感应自动吹风,微电脑控制

离心风量

1000m3/h

电压和功率

AC220V/800W

外形尺寸

1580×900×2400(mm)


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